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VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

應(yīng)用范圍：VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機是一款高性能精密勻膠機，采用了先進的設(shè)計理念，配合精密的運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。該設(shè)備可儲存6 組程序，每組程序包含9 個運行階段。每段運行參數(shù)可獨立設(shè)置，可使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節(jié)約材料。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空，工作時利用真空吸盤及電機轉(zhuǎn)子軸中心的氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上，此方式操作簡便、樣件取放自如，吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無刷電機，噪音低、振動小、運行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強、維修與保養(yǎng)簡單，電機啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAX真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

產(chǎn)品型號：VTC-100PAX

設(shè)備尺寸：L270*W430*H400mm

重量：12kg

上架時間：2024-07-17

版本號：V1.0

A^-A⁺

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VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機是一款高性能精密勻膠機，采用了先進的設(shè)計理念，配合精密的運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。該設(shè)備可儲存6 組程序，每組程序包含9 個運行階段。每段運行參數(shù)可獨立設(shè)置，可使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節(jié)約材料。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空，工作時利用真空吸盤及電機轉(zhuǎn)子軸中心的氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上，此方式操作簡便、樣件取放自如，吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無刷電機，噪音低、振動小、運行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強、維修與保養(yǎng)簡單，電機啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAX真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

技術(shù)參數(shù)
供電接口	帶保險電源插座：AC220V 50Hz 保險管規(guī)格為10A、φ5×20mm
總功率	≤150W(不含外接真空泵）
涂膜主機腔體（材質(zhì)）	聚丙烯
載樣盤（吸盤）	聚丙烯真空吸盤：1 寸（適用φ25 樣片）、3 寸（適用φ76 樣片）各一個
運行方式	可儲存6 組程序，每組程序包含9 個運行階段
涂膜轉(zhuǎn)速	：500-12500rpm 有效
增減速率	每段增減速度設(shè)置范圍：100—2000 rpm/s
涂膜時間	每段時間范圍：0-999s
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性	±1%
控制方式	PCB 單片機按鍵控制LMC 液晶顯示屏
尺寸	L270W430H400mm
重量	12kg
注：1.設(shè)備供電為國內(nèi)標準AC220V 50Hz 供電，實際供電以產(chǎn)品后部標牌參數(shù)為準，此設(shè)備支持AC110V 50/60Hz 產(chǎn)品定制。 2.本設(shè)備控制程序及顯示均為英文。

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