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廣東省工程技術(shù)研究中心
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GSL-1350-ISE 1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源

應(yīng)用范圍:GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀,適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料,其最高溫度可達(dá)1350℃。采用磁流體密封,可保證在旋轉(zhuǎn)的腔體中進(jìn)行PVD實驗。KF50的旋轉(zhuǎn)式快接法蘭,可非常方便地與各種真空腔體對接。此模塊還配有一進(jìn)氣閥,用于通入氣體對腔體進(jìn)行清洗和排氣,保證樣品在蒸鍍過程中不被氧化。

產(chǎn)品型號 :GSL-1350-ISE

上架時間 :2019-08-20

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       GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀,適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料,其最高溫度可達(dá)1350℃。采用磁流體密封,可保證在旋轉(zhuǎn)的腔體中進(jìn)行PVD實驗。KF50的旋轉(zhuǎn)式快接法蘭,可非常方便地與各種真空腔體對接。此模塊還配有一進(jìn)氣閥,用于通入氣體對腔體進(jìn)行清洗和排氣,保證樣品在蒸鍍過程中不被氧化。

 性能指標(biāo)和基本配置
結(jié)構(gòu) & 特點

● 此蒸鍍系統(tǒng)升溫可以手動和自動兩種模式。手動模式可以快速加大電流,達(dá)到快速加熱蒸發(fā),但溫控性較差。自動控制控溫較準(zhǔn)確。
● 采用鎢線圈加熱,氧化鋁坩堝裝料,其最高溫度可達(dá)1350℃
● 精確控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可達(dá)+/- 1 oC
● Φ6.35mm進(jìn)氣口,可向蒸鍍腔體中通入氣體
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電源

電壓:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 單相, 500W

溫控系統(tǒng) & 加熱源

● 最高工作溫度: 1350oC (<1hr)., 連續(xù)工作溫度:1200℃
● 500WDC蒸發(fā)電源,最大電流30A
● 鎢絲加熱,S型熱偶測溫,氧化鋁坩堝裝樣
● 溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度:+/- 1 oC
● 建議升溫速率< 30 oC/min
● 若長期工作在800℃以上,必須用高溫棉填滿耐火保溫層與坩堝之間的間隙??蓽p少鎢絲加熱元件的損耗。
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樣品坩堝

● 配有0.7ml的氧化鋁坩堝
● S型熱電偶嵌在坩堝底部,用于精確測量加熱溫度

進(jìn)氣口

● 6.35進(jìn)氣口,用于向蒸鍍腔體中通入氣體
● 一個針閥安裝在進(jìn)氣口后端,用于控制其氣體流量

可選

可選購快接法蘭,接口為KF50,可與Φ50mm爐管對接
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認(rèn)證

1CE認(rèn)證

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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