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廣東省工程技術(shù)研究中心
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OTF-1200X-5-III-D4 1200℃雙管三溫區(qū)

應(yīng)用范圍:OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐,其最高工作溫度可以達(dá)到1200℃,專門針對(duì)于用CVD方法在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽(yáng)能電池的電極材料和電池電極材料等。 

產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-5-III-D4 

上架時(shí)間 :2019-07-08 

安裝尺寸:2100 L x 450W x 630 H mm 

重量:約90Kg

產(chǎn)品簡(jiǎn)述 產(chǎn)品詳情 產(chǎn)品視頻 留言咨詢

       OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐,其最高工作溫度可以達(dá)到1200℃,專門針對(duì)于用CVD方法在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽(yáng)能電池的電極材料和電池電極材料等。

 性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命)
● 可選購(gòu)石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度(圖三、四)
● 設(shè)有開(kāi)門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性(圖五、六)
● 石英爐管:外管直徑為 130 mm,內(nèi)管直徑為100mm,使用時(shí)把金屬箔附在內(nèi)管壁上用于CVD反應(yīng)
● 雙管真空密封法蘭,反應(yīng)氣體通過(guò)兩個(gè)管(20mm空隙)流動(dòng)并進(jìn)行反應(yīng),強(qiáng)制對(duì)流空氣可以通過(guò)中心管進(jìn)行快速冷卻(點(diǎn)擊下列圖片查看詳情)(圖七)
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基本參數(shù)

● 熱偶:K型熱偶    建議升溫速率:≤10℃/min
● 溫度:1100℃ (1200℃<1h)  電源:AC220,50Hz   最大功率:7KW

加熱區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm (三溫區(qū):229mm+457mm+229mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命)

法蘭

● 采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr
● 法蘭1包含不銹鋼針形閥(點(diǎn)擊圖一查看訂購(gòu)轉(zhuǎn)接頭)
● 法蘭2包含kf5真空接口,方便連接真空泵
● 法蘭采用水冷法蘭。當(dāng)工作溫度超過(guò)900°C時(shí),需要使用冷卻水(圖二)
可選:您可在我公司選購(gòu)液相氣體發(fā)生器,可配合管式爐及CVD系統(tǒng)使用(圖三)
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爐管尺寸

高純石英管尺寸:
● 內(nèi)管尺寸:100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)
● 外管尺寸:130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)
● 使用時(shí)需放置管堵,點(diǎn)擊下圖查看詳情
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可選

● 可在我公司選購(gòu)石墨烯生長(zhǎng)銅箔(圖一)
● 可在我公司選購(gòu)移動(dòng)爐架放置設(shè)備(圖二)
● 可在我公司選購(gòu)質(zhì)子流量計(jì)、真空機(jī)組等,支撐設(shè)備的同時(shí)可向設(shè)備內(nèi)通入各種混合氣體(圖三)
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密封法蘭

● 一對(duì)SS304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)
● 兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上(圖一)
● 一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(圖一)
● 可選:您可以選購(gòu)kf25真空口法蘭(圖二)
● 可選:您可以訂購(gòu)法蘭支架(圖三)
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溫控系統(tǒng)

● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
● 通過(guò)MET認(rèn)證
● 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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外形尺寸

2100 L x 450W x 630 H mm

凈重

約90Kg

真空系統(tǒng)

● 通過(guò)機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr
●通過(guò)分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr
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●通過(guò)分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr
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應(yīng)用注意事項(xiàng) ●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
●石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證,如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。
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