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TF-1200X-4-C4LVS 1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門(mén)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。

產(chǎn)品型號(hào) ：OTF-1200X-4-C4LVS

上架時(shí)間：2019-07-05

安裝尺寸：爐體: 550 x 380 x 520

移動(dòng)架: 600x600x597

重量：300 lb

A^-A⁺

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TF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門(mén)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	● 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性. ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 ● 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放. ● 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
電源	電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)
加熱溫度	● 最高溫度: 1100°C ● 連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū)	加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
加熱和冷卻速度	最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)，請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可以看出最快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。 ( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )
石英管	● 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm ● 內(nèi)管:OD80 x ID 75 x 1800 mm
真空法蘭	● 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。 ● 爐子底部裝有一對(duì)滑軌 ● 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。 ● 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。 ● 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置。極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵) ，10^-5 torr (分子泵) 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
溫控儀	● 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。 ● 控溫精度: +/-1°C
混氣系統(tǒng)	4路精密質(zhì)子流量計(jì)： ● 數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制. ● MFC 1范圍: 0~100 sccm ● MFC 2范圍: 0~200 sccm ● MFC 3范圍: 0~200 sccm ● MFC 4范圍: 0~500 sccm ● 氣路: 4 路 ● 流量精度: 0.2% ● 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 ● 一個(gè)混氣罐. ● 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 ● 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量.
真空泵	● 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr. ● 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . ● 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.. 選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr?.
作為基片用的25um厚的銅箔 (選配）	生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸（mm)	● 爐體: 550 x 380 x 520 ● 移動(dòng)架: 600x600x597
凈重	300 lb
應(yīng)用注意事項(xiàng)	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	● CE認(rèn)證 ● 所有電器元件（≧24V）都通過(guò)了UL/MET/CSA認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

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