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SP-MSM-4CZ 4電弧提拉法單晶生長爐

應(yīng)用范圍：SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐（采用Ar氣電弧對樣品熔融，提拉裝置提拉），其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體（帶有水冷夾層），真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶，如Ti單晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

產(chǎn)品型號：SP-MSM-4CZ

上架時間：2019-07-24

安裝尺寸：800mm（L）*800mm（W）*1500mm(H)

A^-A⁺

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SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐（采用Ar氣電弧對樣品熔融，提拉裝置提拉），其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體（帶有水冷夾層），真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶，如Ti單晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

性能指標和基本配置
腔體	● 采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水 ● 腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品 ● 腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵） ● 腔體尺寸：Φ257*360mm
真空計	腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計和機械壓力表
電弧槍	● 共有4個電弧槍，可讓樣品得到均勻的溫場（電弧槍都帶有冷卻水） ● 鎢電極直徑為Φ4mm ● 電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調(diào)節(jié) ● 起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V ● 熔煉溫度可達3000℃
樣品臺	● 采用水冷銅坩堝 ● 可投如樣品量為60g(按鐵計算)
提拉機構(gòu)	● 控制器控制提拉機構(gòu)的提拉速度，轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速 ● 提拉速度：0.2-10mm/h ● 提拉行程：0-70mm ● 轉(zhuǎn)速：0-40RPM
控制單元	可顯示和設(shè)置單晶生長的參數(shù)（起弧電流，提拉桿轉(zhuǎn)速，提拉行程和轉(zhuǎn)速）
真空泵	● 設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)（機械泵+渦旋分子泵） ● 抽氣速率：100L/S ● 可使設(shè)備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內(nèi))
循環(huán)水冷機	● 功率：800W ● 水流速度：58L/min ● 制冷能力：5004W（17500Btu/hour） ● 溫度控制：5~30 °C
設(shè)備尺寸	800mm（L）800mm（W）1500mm(H)
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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