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OTF-1200X-HVC 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐，二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其最高工作溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-HVC

上架時間：2019-07-03

安裝尺寸：600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

A^-A⁺

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OTF-1200X-HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐，二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其最高工作溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

性能指標和基本配置
OTF-1200X系列?管式爐	殼體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷.使得殼體表面的溫度小于60度 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
	爐管	● 材質(zhì): 高純石英管 ● 石英管包含在內(nèi). 可以選擇其他管徑
	功率	2.5KW
	工作電壓	AC 208-240V 單相, 50/60Hz
	加熱元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo，（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，最大程度的延長加熱元件的使用壽命）
	工作溫度	● 最高工作溫度.: 1200°C ● 連續(xù)工作溫度: 1100°C
	加熱速率	加熱速率: 1~20°C/min 可編程
	加熱區(qū)長度	總加熱區(qū)長度: 440mm
	控溫系統(tǒng)	● PID自動控制方式，可設(shè)置30段升降溫程序 ● 控溫精度: ±1°C ● 熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
	真空密封	● 一對不銹鋼真空密封法蘭，已經(jīng)安裝 ● 法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表 ● 一對精密針閥 ● KF-40 的抽氣接口
	功率	100~110W
高真空機組	殼體	● 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 最大承載量: 600 Lbs on topf ● 分子泵顯示屏： LCD 數(shù)字顯示 ● 殼體內(nèi)安裝有一臺德國制造的分子泵
	抽氣速率	● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s
	工作范圍	1000 mbar to <1E-7 mbar
	極限	<1E-8 mbar (無泄漏)
質(zhì)量流量控制器	殼體	● 采用 316不銹鋼制作 ● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm ● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
	功率	18W
	工作電源	AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz
開門斷電	● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計
應(yīng)用注意事項	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證/ CE認證,若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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