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GSL-1700X-HVC9 1700°C九通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：GSL-1700X-HVC9是經(jīng)過CE認(rèn)證的80mm直徑氧化鋁管式爐，帶有真空泵系統(tǒng)（最高10^-5 torr）和9通道精密數(shù)字質(zhì)量流量計，可控制九種類型的氣體用于CVD或擴(kuò)散，并可以工作到1700℃。

產(chǎn)品型號：GSL-1700X-HVC9

上架時間：2019-07-02

安裝尺寸：爐體：550 x 380 x 520

底部殼體：600x600x597

凈重：約100Kg

A^-A⁺

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GSL-1700X-HVC9是經(jīng)過CE認(rèn)證的80mm直徑氧化鋁管式爐，帶有真空泵系統(tǒng)（最高10^-5 torr）和9通道精密數(shù)字質(zhì)量流量計，可控制九種類型的氣體用于CVD或擴(kuò)散，并可以工作到1700℃。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	● 雙層鋼外殼，帶空氣冷卻。 ● 內(nèi)部有兩個冷卻風(fēng)扇，以保持外殼溫度<55oC。 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長爐膛的使用壽命 ● 高純度氧化鋁耐火室 ● 真空和氣體混合系統(tǒng)位于底部帶有4個輪子的移動推車。 ● 包括真空法蘭，儀表，閥門，管道和高真空泵，可立即使用。
功率	6 Kw
電壓	AC 208-240V單相，50/60 Hz
加熱元件	8 pcs1800°C級MoSi2
最高溫度	1700 °C（<1小時）
連續(xù)溫度	1600 °C
最高加熱率	≤5 °C /min
管尺寸和材料	優(yōu)質(zhì)氧化鋁管美國制造： ●（標(biāo)配尺寸）（60mm）O.D.x I.D. （54毫米）x 1000毫米長度 ●（選配尺寸）（80mm）O.D.x I.D. （74毫米）x 1000毫米長度 ●安裝兩對SS調(diào)節(jié)支架，以避免管在高溫下彎曲。
加熱區(qū)	● 加熱區(qū)長度：457毫米（18"） ● 恒溫區(qū)長度：150 mm（6“）（+/- 1°C）注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系
溫度控制器	● 一個精密數(shù)字溫度控制器，可編程50段。 ● PID可調(diào)，具有自動調(diào)諧功能，可確保溫度穩(wěn)定在+/- 1 oC范圍內(nèi)。 ● 在每個控制器中提供全面保護(hù)，以防止溫度過高和熱電偶損壞。
熱電偶	內(nèi)置B型熱電偶
真空法蘭	● 兩個不銹鋼法蘭，帶真空軟管和氣體接頭管。 ● 一個法蘭安裝有KFD-40適配器和球閥。 ● 雙層高溫硅膠O型圈，可在300oC以下使用。 ● 包括多孔氧化鋁塊以保護(hù)法蘭免受熱輻射。
真空泵	牽引式安裝在底殼中的真空泵： ● 一個雙步旋轉(zhuǎn)葉片高速機(jī)械真空泵 - T2XZ-4C110最大真空壓力為10-2torr。 ● 一個渦輪分子泵，最大。真空壓力為2x10-5torr ● 安裝一個精密真空傳感器。 ● 包括不銹鋼軟管用于連接管式爐。 ● 安裝數(shù)字真空計/控制器。
真空傳感器和顯示器	● 真空傳感器安裝在管式爐上的真空法蘭上，并連接到數(shù)字真空壓力顯示器。 ● 真空控制器和顯示器安裝在底部移動推車中。
氣體流量計用戶手冊	● 9個精密質(zhì)量流量計（CS200）控制器安裝在底部移動推車中，數(shù)字顯示面板為滿量程的+/- 1％（精度在滿量程的35％-100％范圍內(nèi)） ● 3 MFC，范圍0 - 1000scc ● 3 MFC，范圍0 - 200scc ● 3 MFC，范圍0 - 10 scc ● 將安裝一個浮動儀表，僅用于N2氣體 ● 一個機(jī)械壓力計安裝在底部移動推車中，用于監(jiān)測混合器中每種氣體的壓力。 ● 9質(zhì)量流量MFC控制面板/顯示器帶撥號按鈕，可調(diào)節(jié)氣體流量。請看下面的圖片。軟件和界面
管道連接&閥門和氣體混合器	● SS 316 1/4“管/配件 ● SS 316真空針閥 ● 移動機(jī)柜右側(cè)面板外安裝21套不銹鋼真空閥，分別控制，真空泵，流動氣體和兩種進(jìn)氣。 ● 請點(diǎn)擊此處查看管道連接示意圖。
外形尺寸	爐體：550 x 380 x 520 底部殼體·：600x600x597
凈重	約100Kg
裝運(yùn)重量	200 Lbs
質(zhì)量認(rèn)證	CE certified
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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