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MSK-PSP-HFE3030 加熱閃蒸成膜儀

應(yīng)用范圍：MSK-PSP-HFE3030加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。設(shè)備內(nèi)薄膜放置面為加熱平臺，可對薄膜進行加熱（同時頂部可選配添加紅外烘烤裝置）。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號：MSK-PSP-HFE3030

設(shè)備尺寸：約L1000*W600*H520mm（不含管道）

重量：約91KG

上架時間：2024-07-29

版本號：V1.0

A^-A⁺

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MSK-PSP-HFE3030加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。設(shè)備內(nèi)薄膜放置面為加熱平臺，可對薄膜進行加熱（同時頂部可選配添加紅外烘烤裝置）。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

功能特點

獨特的真空管道設(shè)計，抽取真空時氣流平穩(wěn)；
大功率真空泵，抽取真空速度快；
內(nèi)置真空壓力測量傳感器，可控制保壓時真空壓力；
上蓋配備玻璃視窗，可觀察成膜過程（受結(jié)構(gòu)限制，選配紅外烘烤裝置時，沒有玻璃視窗）；
內(nèi)置加熱模塊，升溫速度快，溫度均勻性好；
一機多用，節(jié)省空間；
可自行組合使用模式，為試驗提供更多可行方案。

技術(shù)參數(shù)
電源	設(shè)備本體：單相AC220V±10%，頻率50Hz，功率約9KW 真空泵：三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz，功率約2.2KW
極限壓力	≤5x10^-1Pa
抽氣速率	20秒到5Pa，25秒到3Pa
適應(yīng)基材尺寸	Max L300mmxW300mmxH10mm
設(shè)置溫度范圍	Max 200℃
溫度均勻性	± 1.5% FS
面板材質(zhì)	銅
設(shè)備本體尺寸	約L1000W600H520mm（不含管道）
真空泵尺寸	約L350W900H500mm
設(shè)備本體重量	約150KG
真空泵重量	約91KG

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