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廣東省工程技術(shù)研究中心
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OTF-1200X-4- C4LVS 1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系

應(yīng)用范圍:OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。

產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-4- C4LVS

上架時(shí)間:2020-04-20

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       OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。
  功能特點(diǎn)
  • 雙石英管:外管直徑100mm ,懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng);
  • 雙管的真空密封法蘭:允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間(10mm間隙)發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體直接通入內(nèi)管;
  • 四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體;
  • 配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵;
  • 爐子底部裝有滑軌:爐子可以從一端滑向另一端,從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫;
 性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu) 高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有極好的溫度均勻性
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)爐膛的使用壽命
爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放
密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作
電源 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)
加熱溫度 最高溫度: 1100°C
連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū) 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系
選擇:
雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)
1
加熱和冷卻速度 最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān), 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可以看出最快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前,要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )
1 1
          加熱                                                 冷卻
石英管 外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內(nèi)管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1500 mm )
真空法蘭 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭,通過(guò)用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空
爐子底部裝有一對(duì)滑軌
爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻
為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預(yù)熱,然后滑到放置樣品的位置
為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置
1111
          左法蘭(點(diǎn)擊放大)                                                 右法蘭 (點(diǎn)擊方大)
溫控儀 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制
控溫精度: +/-1°C
混氣系統(tǒng) 4路精密質(zhì)子流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
MFC 1范圍: 0~100 sccm
MFC 2范圍: 0~200 sccm
MFC 3范圍: 0~200 sccm
MFC 4范圍: 0~500 sccm
氣路: 4 路
流量精度: 0.2%
進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
一個(gè)混氣罐.
每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制
通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖
MFC 面板(點(diǎn)擊放大)
1
真空泵 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵,真空度達(dá) 10-3 Torr
真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接
數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上
選擇: 可以配分子泵,真空度達(dá) 10-5 Torr
作為基片用的25um厚的銅箔 (選配) 生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
1
尺寸(mm) 爐體: 550 x 380 x 520
移動(dòng)架: 600x600x597
凈重 300 lb
開(kāi)門斷電 為保證使用安全,該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)
保修期 一年質(zhì)保期 (耗材:如爐管,“O”型圈,和加熱元件等不在保修范圍內(nèi))
認(rèn)證 CE 認(rèn)證
凈重 約85 Kg
使用注意事項(xiàng) 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
暫無(wú)內(nèi)容
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