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廣東省工程技術研究中心
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OTF-1200X-II 1200℃雙溫區(qū)管式爐

應用范圍:OTF-1200X-II是通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐,其最高溫度可達到1200℃,并可通過調節(jié)兩個溫區(qū)的控溫程序使爐管內溫場形成一溫度梯度。兩個溫區(qū)分別由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫。此系列管式爐可以用CVD方法來生長納米材料和制備各種薄膜。

產(chǎn)品型號 :OTF-1200X-II

上架時間 :2019-07-23

安裝尺寸:1250 L x 380W x 520 H mm

重量:約45Kg

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       OTF-1200X-II是通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐,其最高溫度可達到1200℃,并可通過調節(jié)兩個溫區(qū)的控溫程序使爐管內溫場形成一溫度梯度。兩個溫區(qū)分別由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫。此系列管式爐可以用CVD方法來生長納米材料和制備各種薄膜。

 性能指標和基本配置
爐體結構

● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)
● 可選購石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內潔凈度及真空度
● 設有開門斷電功能,提高實驗安全性

基本參數(shù)

● 熱偶:K型熱偶????
● 建議升溫速率:≤10℃/min?
● 溫度:1100℃ (1200℃<1h)
● 電源:AC220,50Hz??
● 最大功率:3KW

高純石英管尺寸

高純石英管尺寸:
● 25 O.D x 19 I.D?
● 50 O.D x 44 I.D
● 60 O.D x 55 I.D
● 80 O.D x 75 I.D
● 100 O.D x 95 I.D

加熱區(qū)

加熱區(qū)長度:400mm (雙溫區(qū):200mm+200mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)

密封法蘭

● 采用一對SS304不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封
● 兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上(下圖)
● 一個真空壓力表安裝在一側法蘭(下圖)
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可選

● 法蘭上標配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭
● 為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉接頭
● 為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭
● 可選:您可以選購kf25真空口法蘭
● 可選:您可以訂購法蘭支架

溫控系統(tǒng)

● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制
● 默認DB9 PC通信連接端口
● 通過MET認證
● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)
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溫度校準(可選)

● 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括
● 48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準
● 一Omega溫度校準器
● 熱電偶補償線
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真空系統(tǒng)

● 通過機械泵可達到50mTorr
● 通過分子泵泵可達到10E-5 Torr
● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染
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外形尺寸

1250 L x 380W x 520 H mm

凈重

約45Kg

使用注意事項

● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
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● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度<1100℃
● 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

應用提示 ● 如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭
● 為了在管式爐內獲得準確的溫度,在使用前需要校準溫度,請點擊這里了解如何使用
● 你可以每個溫區(qū)設置不同溫度來構造CVD沉積的溫度梯度,點擊鏈接查看如何構造溫度梯度。
質量認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
1

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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