應(yīng)用范圍:ALD-1200X-R-4是一款4英寸ALD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng),包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)生器以及4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng),可利用此系統(tǒng)進行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統(tǒng)簡潔的設(shè)計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。
產(chǎn)品型號 :ALD-1200X-R-4
上架時間 :2019-07-09
ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng),包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)生器以及4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng),可利用此系統(tǒng)進行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統(tǒng)簡潔的設(shè)計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。
性能指標和基本配置 | ||
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控制面板 |
● 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制。 |
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ALD進氣閥 | ||
精密液體氣相發(fā)生器 | ||
旋轉(zhuǎn)管式爐 |
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真空計 | ||
真空泵(選配) | ||
更多可選配件 |
● 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統(tǒng)(圖1.2) |
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相關(guān)應(yīng)用 |
可利用ALD系統(tǒng)顯著降低石榴石結(jié)構(gòu)固態(tài)電解質(zhì)與電極之間的高的固固界面阻抗,相關(guān)文獻:Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries |
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應(yīng)用注意事項 |
● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度<1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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質(zhì)量認證 |
所有電器元件(>24V)均滿足UL/MET/CSA認證/CE認證,如您另付費用,我們可保證單臺儀器通過TUV(UL61010)或CSA認證 |
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保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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